据了解，每当一个净化工程完工以后，都必须要进行高效过滤器的扫描检漏：0.3μm以上粒子连续增加为0个。这样检漏的目的是检查高效过滤器的安装及与净化车间的接缝处，有无破损和裂缝，有无尘埃泄漏。
检测器：Lasair-110、测定用的台车等。
试验条件：动力空调系统运行良好，环境满足净化要求。
测定点：全部高效过滤器。
测定方法：高效过滤器区域。
采样口与高效过滤器的距离30 mm，扫描速度50 mm/s。
检查高效过滤器的平面及周边有无尘埃泄漏。
b)沉降粒子
标准：粒子总数增加不超过100个，尘埃的增加数<100个，当超出规格时，需再检一次。试验条件：动力空调系统运行良好，环境满足净化要求。
测定方法：将符合要求的参考片水平放硅片盒上;经过24 h后，测定并计算尘埃数之差。
c)浮游粒子
标准：作业室0.3μm以上粒子<35个/CF，用力室0.5μm以上粒子<1000个/CF。
测定方法：将激光粒子计数器的采样流量调整到1CFM，连续检测3 min，取平均值，测定高度在工作面区域约为800 mm~1200 mm。
此方法是工程中经常采用的方法。
一般情况下，最末一级高效过滤器的过滤效率决定净化间的洁净度级别，以0.3μm、100级洁净间的空气净化系统为例分析，工程实践中一般要选择0.12μm、99.999%的ULPA。
外气经过喷淋，又经过高效过滤器和超高效过滤器后，检测净化间的尘埃分布为：0.1μm~0.3μm的尘埃为8.76个/ft3;大于等于0.3μm的尘埃为35个/ft3。与表1比较发现可以满足净化间的净化级别。因此，选择最末一级过滤器的过滤效率对满足净化间的净化级别有重要的意义。
